该项目为河北天达晶阳半导体技术有限公司年产 1.2 万片碳化硅晶片生产线配套冷却工程。碳化硅单晶生长炉对冷却水温度、压力、洁净度要求极为严苛，温度波动直接影响晶体质量与良率。新疆地区昼夜温差大，冬季严
系统投运后运行稳定，全年供水温度波动控制在 ±0.5℃以内，完全满足碳化硅单晶生长工艺要求。双工况设计有效解决了新疆严寒地区冷却塔冬季运行难题，从未发生冻管事故，设备
可用率达 99.8% 以上。干式运行模式大幅节约水资源，年节水率达 35%，年节水约 18 万立方米，特别适合西北缺水地区。闭式循环使单晶炉设备维护周期大幅延长，水路清洗频率从
季度降为年度，有效减少停机维护时间，提升产能。系统能效优异，运行能耗低于设计值 15%。该项目成功验证了双工况闭式冷却技术在极端气候地区半导体材料生产中的应用价值，为
第三代半导体产业向西部布局提供了可靠的冷却解决方案。
