该项目为 SK 海力士永仁半导体产业集群核心环保基础设施，是韩国最大规模的半导体产业园配套水处理工程，设计日处理能力 50000 吨。半导体生产废水成分复杂，含有氟化物、重金属、有机溶剂、光刻胶残留物
采用多级处理工艺路线：前端调节均质 + 化学沉淀去除氟化物与重金属；中段采用 AOP 高级氧化技术降解难降解有机物与光刻胶；后段配置超滤 + 反渗透双膜系统进行深度处
理，产水回用于生产。浓水经蒸发浓缩进一步减量化，蒸馏液回用，浓缩液委外处置。针对含氟废水特点，优化钙盐沉淀 + 吸附二级除氟工艺，确保出水氟离子稳定达标。回用
水质根据不同用途分级供应，超纯水制备前处理、冷却塔补水、清洗用水等分别对应不同水质标准，实现分质供水、梯级利用。系统配置全自动化控制与在线监测，关键水质参数
实时上传监管平台。设备选型全部采用韩国本土高品质产品，兼顾性能与后期维护便利性。
项目建成投运后，出水水质全面优于排放标准，COD、总氮、氟化物、重金属等关键指标稳定达标。水资源循环利用率达到 87%，超设计目标，每日回用水量超 43000 吨，大幅减少
园区新鲜水取用与污水排放量，年节水超 1500 万吨，经济效益与环境效益显著。系统运行稳定，抗冲击负荷能力强，能够适应半导体生产废水水质水量波动大的特点。自动化程度
高，运维人员精简，吨水处理成本处于行业先进水平。该项目是全球半导体行业绿色制造的典范工程，大幅提升了 SK 海力士的 ESG 表现，也为韩国乃至全球半导体产业园区污水处
理与循环利用提供了成熟的技术方案与建设经验。
