年产 1.2 万片 6/8 英寸碳化硅单晶衬底项目，大量单晶生长炉需要恒定温度冷却水。单晶生长工艺周期长达 7~14 天，冷却水温波动直接影响晶体结晶质量，易产生位错、缺陷；厂区夏季高温、冬季低温，室
系统方案：采用全闭式冷却循环系统 + 闭式冷却塔，系统水体密闭不与空气接触，大幅减少杂质进入、抑制微生物滋生；取消敞开水池，杜绝藻类生长。
动态温控策略：多组独立换热回路，单台单晶炉供水温度独立微调；根据环境温度自动切换冷却运行模式，冬季利用自然冷源节能运行。
净化保障：系统配备全自动自清洗过滤器、磁性除垢装置；密闭体系少量投加环保型缓蚀药剂，避免菌藻滋生。
智能集群控制：整套系统接入工厂 MES 系统，实时上传温度、流量、压力数据；单台冷却回路故障独立报警，互不干扰。
