光刻胶、显影液、剥离液电子化学品生产项目,配料、清洗、产品精制工序使用超纯水。水中有机物、阴阳离子、微生物会直接影响光刻胶稳定性,引发光刻缺陷。设计产水规模 55m³/h 超纯水;项目为老厂区改造,施
采用紧凑型分层布局,适配老旧厂区狭小场地;
分阶段施工,新旧管线临时接驳,保障园区供水不受干扰;
整套系统采用无菌设计,定期自动消毒,严控微生物;
药剂接触部件选用耐化学腐蚀洁净材质;
配套水质留样采集点位,满足化学品行业质检溯源要求。
改造施工全程未造成周边企业停水;超纯水水质稳定匹配电子化学品生产标准;光刻胶批次稳定性提升,储存周期延长;自动化运维减少人工干预,降低人为污染风险。
老厂区改造专项施工方案,不影响现有生产;电子化学品专用无菌超纯水工艺;紧凑型模块化布局,适配存量厂区改造;完善水质留样监测体系,契合精细化工品控标准。