大型芯片封测基地,晶圆切割清洗、塑封后清洗、测试工序用水。设计产水规模 60m³/h 超纯水;相比晶圆厂,水量规模偏小,但批次用水波动大;水质要求电阻率≥17.5MΩ・cm,控制颗粒物与微生物;厂房可
工艺路线:原水预处理→双级反渗透→EDI→抛光纯化→循环供水。
定制方案:
① 紧凑型模块化集成设计,大幅节约占地;
② 配备缓冲储罐,应对间歇性用水峰谷波动;
③ 简化冗余配置,平衡投资与可靠性;
④ 管路采用 UPVC 洁净管材,降低初期投资;
⑤ 一体化撬装设备,缩短现场安装工期。
适配封测间歇性用水模式,高峰供水稳定;占地相比传统土建站节约 35%;项目建设周期缩短 2 个月;水质长期稳定满足封装清洗工艺要求。
撬装模块化方案,占地小、工期短;适配封测行业峰谷用水特性;投资性价比优化;小型半导体水系统标准化交付经验;后期便于搬迁、扩容。