首页 > 工程案例 >

西南半导体封装测试厂区超纯水 EPC 项目-1

西南半导体封装测试厂区超纯水 EPC 项目

大型芯片封测基地,晶圆切割清洗、塑封后清洗、测试工序用水。设计产水规模 60m³/h 超纯水;相比晶圆厂,水量规模偏小,但批次用水波动大;水质要求电阻率≥17.5MΩ・cm,控制颗粒物与微生物;厂房可

  • 配套产品:封装测试超纯水系统 EPC
  • 项目地址:四川省成都市天府新区集成电路产业园
  • 所属行业:半导体行业(芯片封装、测试、塑封清洗)

项目概况

大型芯片封测基地,晶圆切割清洗、塑封后清洗、测试工序用水。设计产水规模 60m³/h 超纯水;相比晶圆厂,水量规模偏小,但批次用水波动大;水质要求电阻率≥17.5MΩ・cm,控制颗粒物与微生物;厂房可用占地面积紧张。

定制解决方案

工艺路线:原水预处理→双级反渗透→EDI→抛光纯化→循环供水。

定制方案:

① 紧凑型模块化集成设计,大幅节约占地;

② 配备缓冲储罐,应对间歇性用水峰谷波动;

③ 简化冗余配置,平衡投资与可靠性;

④ 管路采用 UPVC 洁净管材,降低初期投资;

⑤ 一体化撬装设备,缩短现场安装工期。

项目运行成效和优势

适配封测间歇性用水模式,高峰供水稳定;占地相比传统土建站节约 35%;项目建设周期缩短 2 个月;水质长期稳定满足封装清洗工艺要求。

撬装模块化方案,占地小、工期短;适配封测行业峰谷用水特性;投资性价比优化;小型半导体水系统标准化交付经验;后期便于搬迁、扩容。

推荐产品

查看更多产品 →