功率半导体 8 英寸晶圆产线，清洗、刻蚀工艺用水；设计产水规模 160m³/h；原水市政自来水；项目痛点：园区供电存在瞬时压降风险；业主希望提高水回收率降低取水费用；出水电阻率≥18.2MΩ・cm，严
工艺路线：预处理→双级 RO→EDI→TOC 紫外→抛光混床→循环供水；配套浓水 RO 回用系统。
定制措施：
① 关键动力设备配置稳压保障；
② 浓水回收系统提升整体水利用率；
③ 分区独立循环管路，降低管网水质衰减；
④ 搭建远程运维系统，实时推送水质预警。
系统水综合回收率提升至 72%，年节水 32 万吨；供电波动工况下未发生水质失稳；功率器件晶圆表面缺陷有效减少；运维故障响应时间缩短 60%。
功率半导体工艺水质针对性优化；浓水资源化回收降低运营成本；电网波动适应性设计；本地化运维保障；EPC 与洁净厂房施工协同
