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半导体封装测试工厂循环冷却水 EPC 总包改造项目-1

半导体封装测试工厂循环冷却水 EPC 总包改造项目

安徽合肥大型半导体封装测试工厂,原有循环冷却水系统运行 6 年,用于芯片封装、键合、测试设备冷却,总循环水量 3200m³/h。原系统过滤器性能不足,系统内部存在微量锈蚀颗粒,部分精密测试设备换热器出

  • 配套产品:闭式冷却塔、自清洗过滤器、保安过滤单元、
  • 项目地址:安徽合肥
  • 所属行业:半导体行业

项目概况

安徽合肥大型半导体封装测试工厂,原有循环冷却水系统运行 6 年,用于芯片封装、键合、测试设备冷却,总循环水量 3200m³/h。原系统过滤器性能不足,系统内部存在微量锈蚀颗粒,部分精密测试设备换热器出现轻微堵塞;温度波动偏大;部分泵组无备用,存在单点故障风险。工厂产线 24 小时不停工,改造只能利用短暂窗口期完成,不能长时间停产。业主总包改造项目,需要更换升级过滤、泵组、控制系统,提升水质洁净度、控温稳定性,增加设备冗余,保障封装测试产线连续生产。

定制解决方案

保留原有闭式冷却塔主体,对内部换热填料检修更换;循环管路增加自清洗过滤器 + 后置保安过滤单元,强化颗粒物去除;循环水泵增加备用泵,实现一用一备,变频改造;升级 PLC 控制系统,增加冗余逻辑,部署高精度温度、压差、电导率监测仪表;配套闭式系统专用加药装置,控制腐蚀,抑制微生物。改造全部采用模块化预制组件,减少现场施工时间;设置临时旁路管路,改造窗口期切换临时冷却,最大压缩停产时间;完成全系统循环冲洗、化学钝化,消除老系统锈蚀杂质;系统对接工厂 BMS 管理平台,设置滤芯更换预警;编制半导体封装工厂运维 SOP,培训现场运维人员。

项目运行成效和优势

改造完成,循环水系统洁净度明显提升,换热器堵塞问题得到解决,冷却水温度波动控制在 ±0.8℃以内;水泵实现冗余备用,消除单点故障隐患。模块化预制 + 临时旁路方案,大幅缩短产线停机时间,最大程度降低半导体工厂停产损失。过滤器压差在线预警,实现滤芯计划性更换,避免突发堵塞。总包改造统筹设备供货、现场施工、冲洗钝化调试,整套系统运行稳定,保障芯片封装、测试设备冷却稳定,降低设备故障概率,提升半导体产线稼动率。

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