功率半导体器件制造超纯水 EPC 总承包项目
该企业生产 IGBT、MOSFET 等功率半导体器件，晶圆腐蚀、清洗、镀膜工序对超纯水纯度、溶解氧、有机物控制严格。原水市政自来水，项目设计超纯水产水 55m³/h，出水电阻率≥18.2MΩ・cm，T
项目概况
该企业生产 IGBT、MOSFET 等功率半导体器件，晶圆腐蚀、清洗、镀膜工序对超纯水纯度、溶解氧、有机物控制严格。原水市政自来水，项目设计超纯水产水 55m³/h，出水电阻率≥18.2MΩ・cm，TOC≤10ppb，溶解氧≤15ppb，颗粒满足功率器件生产标准。超纯水站位于厂房动力层，层高受限；系统全年 24 小时运行，单元需要冗余设计，避免器件产线停水；高纯管路要严格避免溶出、死角；项目需要和厂房洁净工程同步施工，交叉作业多，需要做好工序协同；同时控制项目投资，后期运维耗材成本可控。
定制解决方案
EPC 交钥匙总承包，工艺路线：原水预处理→多介质过滤→活性炭过滤→保安超滤→双级反渗透→EDI→脱气膜→UV‑TOC 紫外氧化→抛光混床→多级终端超滤→氮封超纯水箱。超纯水侧全部采用 PVDF 高纯管路阀门，管路布局消除死水死角；反渗透、EDI 设置冗余模块，单模块检修不停产；配置电阻率、TOC、溶解氧、颗粒在线监测仪表；PLC 控制系统，水质超标声光报警联锁；高纯管路焊口内窥镜检查，完成焊接后大流量循环冲洗，水质取样合格验收；设备紧凑布置适配动力层层高空间；统筹协调洁净厂房交叉施工，合理排布工序；完成土建、设备就位、管路焊接、电气调试；交付全套图纸，开展超纯水专项运维培训。
项目运行成效和优势
系统投运稳定产出 55m³/h 超纯水，各项水质指标满足功率半导体 IGBT、MOSFET 生产工艺，有效降低器件漏电、击穿等不良现象，提升产品良率。冗余模块实现在线检修，不中断器件生产线供水；脱气单元有效控制溶解氧指标，适配功率器件晶圆腐蚀工艺；高纯管路施工严格管控焊口质量，规避管路二次污染。EPC 总包统筹多专业交叉施工，保障和洁净厂房同步投产；紧凑撬装设备适配动力层有限空间；系统自动化程度高，在线监控预警水质风险，运维工作量小；项目整体造价可控，耗材更换周期稳定，为功率半导体企业稳定生产提供高可靠超纯水供给。
