苏州 IC 封测企业含重金属废水零排放 EPC 总包项目
大型集成电路封测基地,在晶圆键合、电镀、刻蚀工序产生含铜、镍重金属废水、有机清洗废水,废水总量 3000m³/d,重金属管控限值极低,园区排污指标紧张,企业规划建设废水零排放工程,处理后再生水回用于车
项目概况
大型集成电路封测基地,在晶圆键合、电镀、刻蚀工序产生含铜、镍重金属废水、有机清洗废水,废水总量 3000m³/d,重金属管控限值极低,园区排污指标紧张,企业规划建设废水零排放工程,处理后再生水回用于车间清洗、冷却补水,浓水结晶处置。EPC 总包涵盖废水分类收集、重金属深度去除、生化降解、膜深度回用、零排放单元、配套中控系统,难点在于络合态重金属常规沉淀难以去除,容易超标,同时水质波动会直接影响膜系统稳定性,必须保障重金属稳定达标前提下实现高回用率。
定制解决方案
采用 “分质收集 + 破络 + 重金属捕捉沉淀 + 精密过滤 + MBR 生化 + 超滤 + 反渗透 + 浓水 MVR 蒸发结晶” 工艺。含重金属废水单独收集,投加破络药剂打破络合态重金属结构,再添加专用重金属捕捉剂,絮凝沉淀去除铜、镍等重金属,配套精密过滤去除微小悬浮物;有机清洗废水进入 MBR 生化降解 COD;预处理后的清水汇合进入超滤 + 反渗透系统,产水回用于车间清洗与循环水补水;反渗透浓水送入 MVR 蒸发结晶,冷凝水回收回用,重金属污泥脱水后作为危废合规处置;系统配套在线重金属检测仪,超标自动联锁回流重新处理,定时自动膜清洗,配套污泥压滤、药剂自动投加系统,全流程满足园区环保在线监控对接要求。
项目运行成效和优势
装置投产稳定运行,封测生产废水实现零外排,水资源回用率 95% 以上,年节约新鲜水约 100 万吨,络合重金属去除稳定达标,在线监测长期无超标记录,规避园区环保处罚风险。破络 + 专用重金属捕捉工艺解决半导体络合重金属治理难点,保障膜系统进水稳定,减少膜污染风险,运维耗材成本可控。整套系统适配封测企业多批次、间歇性排污特点,抗冲击负荷强,自动化程度高,可对接园区环保平台实时上传数据。项目成为长三角 IC 封测行业零排放典型案例,助力企业满足海外客户绿色供应链审核要求。