半导体材料硅片生产工厂循环水站 EPC 总承包项目
半导体大硅片生产工厂新建循环水站，设计循环水量 13000m³/h，为硅片拉晶、切割、研磨工序设备提供冷却。硅片生产热负荷高，设备数量多；车间存在硅粉微小粉尘，一旦进入循环水，会造成换热器堵塞磨损；循
项目概况
半导体大硅片生产工厂新建循环水站，设计循环水量 13000m³/h，为硅片拉晶、切割、研磨工序设备提供冷却。硅片生产热负荷高，设备数量多；车间存在硅粉微小粉尘，一旦进入循环水，会造成换热器堵塞磨损；循环水系统大量不锈钢换热器，严格管控氯离子。工厂全年连续生产，循环水系统不允许长时间停机。项目 EPC 总包，工艺设计、设备供货、不锈钢管网安装、自控集成、调试交付。业主诉求：隔绝硅粉杂质，冷却稳定，低腐蚀风险，自动化，在线可检修，总包交钥匙，保障硅片生产良率稳定。
定制解决方案
EPC 交钥匙总承包模式，完成循环冷却水工艺设计、设备采购供货、现场安装施工、系统调试、运维培训。选用闭式冷却塔隔绝车间硅粉粉尘；配置多组高精度袋式过滤器并联旁滤，拦截硅粉微小颗粒；循环水泵配套变频驱动，稳定供水压力流量；搭建高精度在线监测全自动加药系统，监测 pH、电导率、浊度、氯离子，半导体专用药剂自动投加。水体接触管道全部不锈钢材质；泵、过滤器单元配置独立检修旁路，可在线隔离维护，不中断整体供水。控制系统接入工厂中控平台，远程监视参数、故障报警。施工按照电子厂房规范，管道严格吹扫冲洗；分单机调试、循环冲洗、联动调试，水质全部达标移交业主，交付全套竣工资料，开展专项运维培训。
项目运行成效和优势
系统投运，闭式循环隔绝硅粉粉尘，高精度旁滤持续拦截微小硅颗粒，换热器堵塞磨损问题得到明显改善，拉晶、切割研磨设备冷却工况稳定，保障硅片产品良率。氯离子严格受控，不锈钢设备点蚀风险得到抑制。水泵变频调节，系统综合电耗下降约 14%；全自动精准加药，药剂消耗下降约 17%。设备支持在线隔离检修，无需整套系统停机，满足硅片工厂全年连续生产。全部运行参数上传中控，异常实时报警，便于运维快速处置。总包交钥匙模式，设计供货安装调试一体化交付，减少多方沟通协调，项目按期投产，为大硅片生产提供可靠循环冷却水保障。
