化合物半导体芯片工厂循环冷却水总包改造项目
化合物半导体芯片工厂，主要生产射频、光电子芯片，原有循环冷却水系统，随着产线扩产冷却能力不足；化合物外延机台对冷却水温度、洁净度十分敏感，水质微小波动就会影响外延片品质；原有系统自动化不足，人工操作多
项目概况
化合物半导体芯片工厂，主要生产射频、光电子芯片，原有循环冷却水系统，随着产线扩产冷却能力不足；化合物外延机台对冷却水温度、洁净度十分敏感，水质微小波动就会影响外延片品质；原有系统自动化不足，人工操作多。设计循环水量 7500m³/h。产线连续生产，改造不能长时间停机。循环水换热器大量不锈钢材质，需要管控氯离子。项目包含旧设备拆除、新设备供货、管网改造、自控升级、调试交付。业主诉求：提升冷却能力，稳定水质指标，提高自动化，保障外延片产品品质稳定。
定制解决方案
EPC 总包，完成工艺优化、旧设备拆除、设备供货、现场安装、调试培训。选用闭式冷却设备，提升系统冷却余量；配置精密多介质过滤器并联旁滤，去除胶体微小颗粒；更新循环水泵配套变频驱动；搭建高精度在线监测全自动加药系统，监测 pH、电导率、浊度、氯离子，自动投加半导体专用水处理药剂。设置新旧系统切换旁路，分模块不停产改造；泵、过滤器单元配置独立检修旁路，支持在线维护。控制系统接入工厂中控，实现远程监控报警。施工遵循电子厂房施工规范，管道充分吹扫冲洗；分单机调试、循环冲洗、联动调试，水质全部达标移交，交付竣工图纸、运维手册，开展化合物半导体工况运维培训。
项目运行成效和优势
改造完成，系统冷却余量满足化合物半导体扩产后外延机台全部冷却需求；精密旁滤保障循环水洁净，水温指标稳定，外延设备换热工况平稳，减少外延片品质波动。氯离子指标受控，不锈钢换热器腐蚀风险降低。水泵变频改造，系统电耗下降约 15%；自动化加药替代人工投药，药剂消耗下降约 16%。旁路改造方案实现不停产改造，规避产线停机损失；设备支持在线检修，不中断生产供水。运行数据上传中控，异常自动报警，减轻现场巡检压力。总包一体化实施，旧设备拆除、供货、安装调试统一完成，减少业主多方对接，整套系统适配化合物半导体严苛工艺冷却需求。
