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半导体封装测试基地循环水站 EPC 总承包项目-1

半导体封装测试基地循环水站 EPC 总承包项目

大型半导体封装测试基地新建循环水站,设计循环水量 9000m³/h,为塑封、键合、测试机台提供冷却。封装测试设备数量多,单台设备热负荷小,但设备数量庞大,对循环水供水压力、温度稳定性要求高;车间环境粉

  • 配套产品:闭式冷却塔、袋式精密过滤器、循环泵组、全
  • 项目地址:安徽合肥集成电路产业园
  • 所属行业:半导体‑封装测试

项目概况

大型半导体封装测试基地新建循环水站,设计循环水量 9000m³/h,为塑封、键合、测试机台提供冷却。封装测试设备数量多,单台设备热负荷小,但设备数量庞大,对循环水供水压力、温度稳定性要求高;车间环境粉尘需要隔绝,避免进入循环水;产线全年不间断运行,不允许循环水系统长时间停机。项目 EPC 总包,工艺设计、设备供货、安装、调试交付。封装基地运维人员数量有限,希望系统自动化程度高,减少人工操作。业主诉求:供水温度压力稳定,水体洁净,自动化运行,可在线检修,总包交钥匙交付,保障封装测试产线稳定运行。

定制解决方案

EPC 交钥匙总承包模式,完成循环冷却水工艺设计、设备采购供货、现场安装施工、系统调试、运维培训。选用闭式冷却塔隔绝外界粉尘;配置多组袋式精密过滤器并联旁滤;循环水泵配套变频驱动,稳定控制供水压力流量;搭建在线监测全自动加药系统,监测 pH、电导率、浊度,自动投加适配半导体工况水处理药剂。管网设置独立检修旁路,过滤器、泵组可以在线隔离维护,不中断整套供水。控制系统接入封装基地中控,远程监视参数、故障报警。施工按照电子厂房施工规范执行,管道充分吹扫冲洗;分单机调试、循环冲洗、联动调试,水质达标移交业主,交付全套竣工资料,开展现场运维实操培训。

项目运行成效和优势

项目投运,闭式循环隔绝外界粉尘,精密旁滤保障循环水洁净;供水温度、压力波动小,大量封装、测试机台换热稳定,减少设备报警停机。水泵变频调节,系统综合电耗下降约 13%;自动化加药精准投加,药剂消耗下降约 14%。过滤器、泵组支持在线隔离检修,不用整套系统停机,适配封装基地全年不间断生产模式。系统自动化程度高,降低现场运维人员工作量。运行参数集中上传中控,异常自动报警,便于快速处置故障。总包交钥匙模式,减少业主多方协调,项目按期投产,整套循环水系统稳定支撑半导体封装测试基地生产。

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