8 英寸功率半导体工厂循环冷却水系统改造总包项目
8 英寸功率半导体芯片工厂，原有循环冷却水系统伴随产能扩充，冷却余量不足；原有过滤单元精度不足，水体微量颗粒杂质，偶尔造成机台换热器微堵；人工加药，水质指标存在波动；设计循环水量 11000m³/h。
项目概况
8 英寸功率半导体芯片工厂，原有循环冷却水系统伴随产能扩充，冷却余量不足；原有过滤单元精度不足，水体微量颗粒杂质，偶尔造成机台换热器微堵；人工加药，水质指标存在波动；设计循环水量 11000m³/h。功率器件制造产线 24 小时连续运行，冷却系统异常会直接导致器件良率下滑。循环水系统大量不锈钢换热设备，必须严格管控氯离子。改造项目包含旧设备拆除、新设备供货、不锈钢管网改造、自控升级、调试交付。产线不能长时间停机，需要采用不停产改造方案。业主诉求：提升冷却余量，提高循环水过滤精度，稳定水质，自动化运行，保障功率半导体器件良率稳定。
定制解决方案
EPC 总包，完成工艺优化、旧设备拆除、设备供货、现场安装、调试培训。选用闭式冷却机组，保障充足冷却余量；配置多台精密自清洗过滤器并联旁滤，持续去除微小颗粒杂质；更新循环水泵配套变频驱动；搭建高精度在线监测全自动加药系统，监测 pH、电导率、浊度、氯离子，半导体专用药剂自动投加。接触水介质管道全部为不锈钢，设置新旧系统切换旁路，分模块改造，产线不停产。泵、过滤器单元设置独立检修旁路，可在线隔离维护。控制系统接入工厂中控平台，远程监控参数、故障报警。施工执行半导体厂房施工规范，管道严格吹扫清洗；分单机调试、循环冲洗、联动调试，水质全部达标移交，交付竣工图纸、运维手册，开展半导体工况专项运维培训。
项目运行成效和优势
改造投运，系统冷却余量充足，满足功率半导体工厂扩产后全部机台冷却需求；精密旁滤持续去除微小颗粒，换热器微堵现象大幅减少，机台换热稳定，功率器件产品良率稳定性提升。氯离子严格受控，不锈钢设备腐蚀风险得到控制。水泵变频改造，系统电耗下降约 16%；自动化加药消除人工投药波动，药剂消耗下降约 15%。旁路切换方案实现不停产改造，避免产线停机带来生产损失；设备支持在线检修，不中断产线供水。运行参数上传中控，异常自动报警，降低现场运维压力。总包一体化实施，旧设备拆除、供货、安装调试统一完成，减少业主多方对接，整套系统稳定服务功率半导体产线。
