化合物半导体工厂工艺超纯水 EPC 总承包项目

本项目为化合物半导体（砷化镓、氮化镓）工厂工艺超纯水 EPC 总承包项目，设计产水规模 65m³/h，产水电阻率≥18.2MΩ・cm，用于外延、刻蚀、清洗工艺用水。生产车间部分区域存在有机溶剂挥发，纯水站加药间属于防爆区域；原水市政自来水，硬度、总硅偏高；化合物半导体外延工艺对水中金属离子、TOC 控制十分严格。项目采用 EPC 交钥匙总承包，总承包负责全套工艺设计、设备采购、土建泵房、高纯管路、防爆洁净电气、自控系统、管路冲洗钝化、调试、性能考核、竣工移交。产线连续生产，超纯水不能中断；加药间需要满足防爆规范；高纯管路焊接、冲洗钝化必须符合电子行业标准；项目建设周期紧张，需要与新建化合物半导体产线同步投产。

总承包针对化合物半导体工艺水质要求与防爆工况，采用 “预处理‑超滤‑双级反渗透‑EDI‑抛光混床‑双波长 UV‑脱气‑终端过滤‑车间循环供水” 工艺路线。预处理去除硬度、余氯、胶体；双级反渗透脱盐；EDI 深度脱盐；抛光混床严控金属离子与硅；UV 降解 TOC；脱气膜降低溶解氧；终端过滤截留颗粒；建设车间循环管网。总承包范围内完成泵房、水箱土建施工；加药间电气仪表全部选用防爆等级产品；工艺管路采用 316L‑EP 高纯管道，全自动轨道焊接，完成吹扫、循环冲洗、钝化。系统两列并联冗余，单系列检修不停产；PLC 自控系统在线监测电阻率、TOC、金属离子、硅，水质异常自动回流；严格执行半导体高纯管路冲洗钝化流程。统筹施工计划，保障与产线同步投产；完成 72h 性能考核，交付全套竣工资料，开展运维培训，实现 EPC 交钥匙交付。

超纯水系统各项水质指标稳定满足化合物半导体外延、刻蚀工艺严苛用水，减少杂质带来的外延层缺陷。加药间全套防爆电气，满足厂区防爆安全规范；两列并联冗余架构保障产线不间断供水。EPC 总承包模式，工艺设计、防爆设备、高纯焊接冲洗、调试一体化实施，减少业主多方管理压力。循环管网保障车间各个用水点水质稳定。整套 EPC 方案适合氮化镓、砷化镓等化合物半导体工厂超纯水项目