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功率半导体 IGBT 生产厂区循环水浅层砂过滤器系统升级维保项目-1

功率半导体 IGBT 生产厂区循环水浅层砂过滤器系统升级维保项目

IGBT 功率半导体厂区循环冷却水系统循环水量 12000m³/h,供给扩散炉、离子注入机、测试机台冷却系统。厂区地处江淮区域,夏季高温高湿,冷却塔内部极易滋生藻类、粘泥,原有浅层砂过滤器滤料老化、布

  • 配套产品:全自动浅层砂过滤器、旁路成套系统、改性滤
  • 项目地址:安徽合肥功率半导体产业园
  • 所属行业:半导体行业 - 功率器件制造

项目概况

IGBT 功率半导体厂区循环冷却水系统循环水量 12000m³/h,供给扩散炉、离子注入机、测试机台冷却系统。厂区地处江淮区域,夏季高温高湿,冷却塔内部极易滋生藻类、粘泥,原有浅层砂过滤器滤料老化、布水不均,去除胶体、悬浮物能力不足。粘泥、微小杂质进入板式换热器,造成换热效率下滑,机台冷却水温出现波动,影响 IGBT 器件工艺一致性。老旧过滤器依靠固定时间反洗,水质优良时段依然持续反洗,造成大量水资源浪费;高湿环境下过滤器阀门容易滋生微生物、出现卡涩故障。厂区生产线持续运转,无法长时间停水改造,需要模块化不停产技改,配套长期精细化运维保障水质稳定。

定制解决方案

新增 3 套全自动浅层砂过滤器组成独立旁滤回路,单套流量 550m³/h,选用抗微生物附着改性石英砂滤料;对原有老旧过滤器实施内部改造,更换破损布水组件。采用分段接驳旁路方案,分批次投运新旧设备,全程不停产施工。搭载压差 + 浊度联动智能控制系统,水质良好时自动延长反洗周期,水质恶化自动强化冲洗。过滤器内部管路优化,降低水流死角,抑制粘泥沉积;阀门选用耐微生物腐蚀橡胶密封。建立精细化维保方案:夏季藻类高发期增加巡检频次,定期取样检测滤料污染情况;每半年补充改性滤料;每年彻底清理罐内粘泥沉积物。系统设置独立反洗水沉淀单元,反洗排水沉淀后回用至循环水池,降低补水量。

项目运行成效和优势

改造完成后循环水胶体、悬浮物去除效率大幅提升,粘泥滋生得到有效抑制,板式换热器堵塞速率显著放缓,IGBT 生产机台冷却温度波动范围缩小,器件工艺一致性提升,产品不良率下降。智能联动反洗模式相比固定定时反洗,反洗用水量降低 42%,显著节约工业用水。改性滤料不易附着微生物,延长滤料更换周期,降低耗材成本。不停产模块化改造方案最大程度降低对功率半导体生产线的干扰。常态化季节性维保针对性应对夏季高湿藻类爆发工况,提前消除过滤器堵塞隐患。旁滤系统持续净化水体,缓蚀杀菌药剂投加量合理下调,综合水处理成本下降,满足功率半导体连续量产、工艺参数稳定的生产需求。

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