该项目为广东省重大项目，建设 6 英寸碳化硅单晶衬底及外延片生产线，全面投产后将成为华南地区重要的第三代半导体材料基地。项目配套建设多组循环冷却水系统，分别满足单晶生长炉、外延设备、离子注入、清洗线等
项目建成投产后，两套系统运行稳定，各项指标均达到设计要求。闭式系统供水温度稳定、水质洁净，有效保障了碳化硅外延工艺的高良率。开式系统节能效果显
著，风机变频运行使年节电率达 20% 以上。全钢制冷却塔防腐性能优异，设计寿命达 20 年以上，大幅减少后期维护成本。超低飘水设计使厂区周边无明显水雾
影响，满足深圳环保要求。系统整体智能化水平高，运行数据实时采集分析，故障预警准确率达 90% 以上。该项目为华南地区第三代半导体产业配套建设树立了
标杆，分级冷却、按需配置的方案既保障了工艺需求，又控制了投资与运行成本，对同类项目具有很强的参考借鉴价值。
