北京某 12 英寸晶圆厂洁净室及工艺冷却水系统改造 EPC

该项目为国内主流 12 英寸晶圆厂洁净室环境升级与工艺冷却水系统扩容改造工程，支撑芯片制程从 28nm 向更先进节点升级。洁净室恒温恒湿与工艺设备冷却对冷水供应的可

靠性、温度稳定性要求极高，任何供冷中断都将造成巨额生产损失。项目新增制冷站包含低温冷冻水系统与中温冷冻水系统，分别满足不同区域需求。改造工程必须在不停产前提下

实施，分阶段施工，作业窗口受限，安全管控难度大。北京地区冬季寒冷、夏季炎热，要求系统兼顾制冷与供热需求，过渡季节运行模式复杂。项目采用 EPC 总承包模式，要求承包

商具备半导体行业丰富经验与高标准施工管理能力。

冷源系统配置多台风冷螺杆冷水机组，N+1 冗余设计，单台故障不影响整体供冷。低温冷冻水系统提供 6/12℃冷水，配置 3 台水泵，2 用 1 备，保障百级洁净区核心工艺设备冷

却。中温冷冻水系统通过板式换热器换热，输出 13/19℃冷水，满足万级区域空调与一般工艺需求。过渡季节启用风冷热泵机组供热，供回水温 55/50℃，实现一机两用。所有水泵采

用变频控制，根据末端负荷自动调节流量，机组与水泵联动台数控制，实现部分负荷下高效运行。冷却水系统采用闭式设计，配置全自动水处理装置，严格控制电导率与腐蚀速率。整

套系统接入工厂 BMS 楼宇管理系统，实现能源管理与故障诊断，关键参数秒级采集。