珠海碳化硅半导体材料纯水系统 EPC 项目

百亿级第三代半导体材料项目，碳化硅晶体生长、石英部件清洗工段用水。设计产水规模 80m³/h 电子级纯水；水质指标贴近半导体晶圆厂标准，TOC、硼、硅、颗粒物控制严格；华南高温高湿环境，微生物管控难度

项目概况

百亿级第三代半导体材料项目，碳化硅晶体生长、石英部件清洗工段用水。设计产水规模 80m³/h 电子级纯水；水质指标贴近半导体晶圆厂标准，TOC、硼、硅、颗粒物控制严格；华南高温高湿环境，微生物管控难度大。

工艺路线：原水→多介质→活性炭→超滤→一级 RO→二级 RO→EDI→185nm UV→脱气膜→抛光混床→终端超滤。

定制优化：

① 持续紫外杀菌 + 无菌管路设计，抑制微生物；

② 特种除硼树脂模块，降低硼元素含量；

③ 厂房高温环境优化换热器，稳定产水温度；

④ 模块化布局，预留二期产能扩容。

TOC 稳定＜3ppb，硼含量达标；晶体表面缺陷率明显下降；全年高温季节未出现微生物超标；支持碳化硅衬底中试、量产稳定推进。第三代半导体新材料专用高纯水处理方案；痕量硼、硅靶向去除；华南湿热环境微生物防控方案；兼顾新材料中试与量产柔性供水

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