一、在线实时检测（最常用，设备上直接看）
电阻率 / 电导率
仪器：电阻率仪、电导率仪
超纯水标准：25℃时 ≥18.2 MΩ・cm
用途：判断离子去除是否彻底，是最核心指标。
TOC（总有机碳）
仪器：在线 TOC 分析仪
标准：电子级一般要求 ≤1～5 ppb
用途：检测水中微量有机物，半导体、制药必测。
溶解氧 DO
仪器：溶解氧仪
用途：防止管道、锅炉氧化腐蚀，电力、半导体常用。
温度监测
电阻率必须标注温度，25℃为标准参考温度。
二、实验室离线检测（精确化验）
微粒 / 颗粒物检测
方法：颗粒计数器
检测：0.05μm、0.1μm、0.2μm 等微小颗粒
主要用于芯片、液晶行业。
微生物检测
方法：细菌培养、滤膜过滤法
指标：菌落总数、内毒素
制药、医疗器械、生物实验室必测。
微量金属离子检测
仪器：ICP-MS（电感耦合等离子体质谱）
可测 Na、Ca、Mg、Fe、Cu、Zn 等 ppt 级杂质
半导体、光伏、高端材料行业必需。
二氧化硅（SiO₂）
方法：分光光度法
电力锅炉用水重点监测，防止结垢。
