一、在线实时检测（最常用，设备上直接看）

电阻率 / 电导率

仪器：电阻率仪、电导率仪

超纯水标准：25℃时 ≥18.2 MΩ・cm

用途：判断离子去除是否彻底，是最核心指标。

TOC（总有机碳）

仪器：在线 TOC 分析仪

标准：电子级一般要求 ≤1～5 ppb

用途：检测水中微量有机物，半导体、制药必测。

溶解氧 DO

仪器：溶解氧仪

用途：防止管道、锅炉氧化腐蚀，电力、半导体常用。

温度监测

电阻率必须标注温度，25℃为标准参考温度。

二、实验室离线检测（精确化验）

微粒 / 颗粒物检测

方法：颗粒计数器

检测：0.05μm、0.1μm、0.2μm 等微小颗粒

主要用于芯片、液晶行业。

微生物检测

方法：细菌培养、滤膜过滤法

指标：菌落总数、内毒素

制药、医疗器械、生物实验室必测。

微量金属离子检测

仪器：ICP-MS（电感耦合等离子体质谱）

可测 Na、Ca、Mg、Fe、Cu、Zn 等 ppt 级杂质

半导体、光伏、高端材料行业必需。

二氧化硅（SiO₂）

方法：分光光度法

电力锅炉用水重点监测，防止结垢。