西安功率半导体产业园循环水系统改造及全生命周期维保项目
功率半导体产业园，生产 IGBT、MOSFET 功率器件，循环水总流量 7600m³/h，服务晶圆制造、器件封装测试全流程冷却。项目投运几年，循环水系统出现几类问题：旁滤多介质过滤器反洗程序不合理，滤
项目概况
功率半导体产业园，生产 IGBT、MOSFET 功率器件，循环水总流量 7600m³/h，服务晶圆制造、器件封装测试全流程冷却。项目投运几年，循环水系统出现几类问题：旁滤多介质过滤器反洗程序不合理，滤料板结，过滤出力不足；循环水泵工频运行，负荷变化时电能浪费；西北地区风沙天气多，沙尘进入冷却塔，带入大量固体杂质；部分换热器出现结垢，换热效率下滑。功率半导体器件制造对设备冷却温度稳定性要求高，冷却波动会造成器件工艺参数漂移，影响产品可靠性。企业希望完成过滤、泵组硬件改造，配套驻场维保，应对风沙工况，保障功率半导体产线稳定生产。
定制解决方案
回水总管增设自清洗过滤器，拦截风沙带入大颗粒杂质；大修多介质旁滤过滤器，更换滤料，重新设置反洗流量、时间参数。对循环水泵增加变频控制系统，跟随回水温度、产线负荷自动调节输出流量。部署全套在线水质监测仪表，实现关键指标实时监控。对压差偏高换热器分批清洗预膜，恢复换热效率。驻场维保：风沙天气之后重点检查过滤器运行状态；过滤器严格执行反洗流程；夏季高温重点管控结垢微生物，冬季落实防冻检查；持续跟踪换热器压差；年度检修窗口深度检查塔体、泵阀设备；建立完整运维档案，保障功率半导体产线冷却供给稳定。
项目运行成效和优势
两级过滤有效拦截风沙带来固体杂质，循环水浊度长期达标，过滤器不再频繁堵塞；水泵变频改造实现按需供水，电能消耗下降。换热器清洗预膜完成，换热效率恢复，工艺冷却温度保持稳定，减少功率半导体器件因为冷却波动带来的参数漂移问题。驻场维保适配西北风沙、冬冷夏热工况，风沙过后针对性处置，兼顾夏季保供、冬季防冻。在线监控方便管理人员掌握系统状态，降低现场运维压力，保障功率半导体晶圆制造、封装测试整套产线连续稳定运行，延长过滤器、换热器、泵阀设备使用寿命。
