上海半导体材料企业闭式循环冷却水系统过滤升级维保项目
半导体光刻配套材料生产企业，有多套完全闭式不接触空气的工艺冷却循环系统，总循环水量 4200m³/h。闭式循环系统不接触大气，但管路、换热器金属会缓慢析出金属离子，系统内部会产生微小腐蚀颗粒；原有过滤
项目概况
半导体光刻配套材料生产企业，有多套完全闭式不接触空气的工艺冷却循环系统，总循环水量 4200m³/h。闭式循环系统不接触大气，但管路、换热器金属会缓慢析出金属离子，系统内部会产生微小腐蚀颗粒；原有过滤设备精度不足，微粒、离子持续累积，电导率逐步升高。过高的离子与颗粒会造成工艺换热板片结垢，换热效率下降，直接影响光刻材料合成温控精度。闭式系统无法通过排污降低离子含量，只能依靠过滤、离子吸附处理。半导体材料生产不能随便停机，维护窗口时间极短，需要在线改造过滤吸附单元，配套预防性维保，保障工艺闭环冷却水长期合格稳定。
定制解决方案
各闭式循环回路新增精密过滤设备，去除系统内部产生的固体微粒；增设旁路离子吸附处理单元，持续降低循环水金属离子，稳定控制回路电导率。加装高灵敏度在线电导率、压差监测仪表，压差升高自动提示滤芯更换。对板式换热器开展化学清洗，恢复换热效率。维保全部采用在线维护模式，过滤器滤芯按压差提示在线更换，尽量不切断工艺冷却水；定期校验在线监测仪表；每季度对闭式循环水取样做全指标分析；建立滤芯耗材台账，提前备货；利用工厂年度短暂检修窗口对换热器做深度检查，建立闭式循环系统专属运维流程。
项目运行成效和优势
闭式回路固体微粒被精密过滤器拦截，离子吸附单元持续管控金属离子，电导率长期稳定在工艺允许区间。在线监测实时反馈过滤器压差，按需更换滤芯，避免滤芯失效。全部主要维护工作在线完成，几乎不占用半导体材料产线停机时间。工艺冷却水温度稳定，光刻材料合成温控精度得到保障，减少产品批次不合格风险。预防性维保模式，提前预判耗材损耗，减少突发故障，满足半导体材料行业对闭环冷却水严苛要求，延长板式换热器使用寿命。
