长三角晶圆制造工厂开式循环冷却水系统提质改造维保项目
12 英寸晶圆制造工厂，循环水总水量 15000m³/h，分为开式冷却塔主循环系统与多条工艺闭式冷却支路。半导体晶圆生产对冷却水温稳定性、杂质控制要求严苛；开式冷却塔与空气接触，灰尘、孢子进入系统，容
项目概况
12 英寸晶圆制造工厂，循环水总水量 15000m³/h，分为开式冷却塔主循环系统与多条工艺闭式冷却支路。半导体晶圆生产对冷却水温稳定性、杂质控制要求严苛；开式冷却塔与空气接触，灰尘、孢子进入系统，容易滋生微生物，微生物黏泥一旦进入板换，造成换热效率下降，甚至存在微生物穿透换热器污染闭式工艺冷却水的风险，直接威胁晶圆良率。原有旁滤过滤器过滤精度不足，水中细小悬浮物去除有限；加药依靠半自动控制，水质波动；多条闭式冷却支路缺少独立过滤，杂质在闭式回路累积。半导体工厂停机窗口非常宝贵，不允许长时间停工，需要尽量在线改造，配套专业驻场维保，严控水质风险，保障芯片制造产线连续运行。
定制解决方案
不停产在线改造扩容开式循环水旁滤单元，升级高精度多介质过滤器，提升细小悬浮物去除能力。部署全套在线水质分析站，监测浊度、余氯、pH、电导率，投用全自动智能加药系统，精准控制杀菌、阻垢药剂。每一条工艺闭式冷却支路加装专用精密过滤器，拦截闭式回路内锈蚀微粒；对冷却塔填料、收水器做检修维护，清除生物黏泥。驻场维保团队 7×24 小时技术支持，过滤器严格执行反洗流程；区分开式、闭式系统差异化管控；持续监控换热器压差，预判清洗时机；微生物指标加密检测，防范黏泥爆发；利用年度短暂检修窗口开展设备深度检查，制定半导体工厂专属的低风险运维流程，最大程度避免影响产线生产。
项目运行成效和优势
开式循环水悬浮物、微生物得到有效管控；各闭式支路精密过滤器持续去除回路内微粒，降低换热器堵塞、跨回路污染风险。全自动加药替代半自动操作，水质指标长期稳定。维保充分适配半导体工厂产线不能随便停机的特点，多数维护操作在线完成，极少占用生产时间。有效规避冷却水问题造成晶圆良率下滑风险，换热器清洗周期拉长，保障刻蚀、沉积等核心芯片工艺设备冷却稳定运行。驻场专业团队补齐半导体工厂水处理专业力量短板，循环水系统运行可靠性满足芯片制造严苛标准。
