广州新粤能半导体专注于8英寸碳化硅宽禁带半导体芯片研发与量产，碳化硅芯片制程精度更高、工艺更复杂，对超纯水的金属离子、微量杂质、有机物、溶解氧管控标准远超传统硅基芯片，水质微小偏差会直接导致芯片良率大
广州新粤能半导体专注于8英寸碳化硅宽禁带半导体芯片研发与量产，碳化硅芯片制程精度更高、工艺更复杂，对超纯水的金属离子、微量杂质、有机物、溶解氧管控标准远超传统硅基芯片，水质微小偏差会直接导致芯片良率大幅下滑。企业新建8英寸碳化硅量产线，急需配套专属高标准超纯水系统，设计产水规模80m³/h，日均产水1920m³，出水电阻率≥18.25MΩ·cm，TOC≤0.8ppb、金属离子总量≤0.05ppb，达到碳化硅半导体专属用水顶级标准。本次总承包服务需针对碳化硅制程特殊需求定制工艺，完成系统设计、精密设备选型、无尘安装、精准调试、长期运维全流程服务，保障系统适配高端宽禁带半导体生产工况。
深度结合8英寸碳化硅半导体芯片高端制程的极致用水需求，定制专属超纯水总承包工艺方案，突破传统纯水工艺短板。前端采用超精细化预处理工艺，集成软化、精密超滤、活性炭精吸附、保安微滤多重工艺，全方位拦截原水各类杂质，深度去除水体有机物、硬度离子，为高端纯水制备奠定极致进水基础。核心采用进口高精密双级反渗透+超低残留EDI除盐工艺，针对性去除水中微量重金属离子、可溶性杂质，大幅降低水体污染物残留。末端配置双级高端抛光混床+真空脱气+紫外TOC深度降解系统，精准管控溶解氧、微量有机物、超细微粒，将水质提纯至碳化硅半导体专用顶级标准。配套无菌恒温供水系统，精准控制水温、水压，保障生产用水全程稳定无波动。搭建专属工业智能监控系统，针对碳化硅制程关键水质指标进行高频次实时监测、数据溯源、异常预警，可根据生产制程负荷智能调节系统运行状态。整套设备采用超高洁净密闭设计，全程杜绝二次污染，适配高端半导体无尘车间生产环境。
系统投运后，超纯水各项指标稳定达到碳化硅半导体顶级用水标准，水质纯度、稳定性、洁净度完全适配8英寸碳化硅芯片光刻、刻蚀、外延等核心制程需求，彻底解决了传统纯水系统微量杂质超标难题，企业碳化硅芯片生产良率提升5%以上，高端宽禁带半导体产品品质和产能实现双重突破。专属定制工艺针对性适配碳化硅特殊制程，相比通用半导体纯水系统，杂质管控精度提升30%，更贴合高端新型半导体生产需求。智能精准管控系统实现水质、设备、能耗全方位精细化管理，设备运行零故障、水质零波动，完美适配24小时不间断量产工况。系统节水节能效果突出，水利用率、能耗指标均优于行业标准，长期运行经济性显著。整套系统工艺先进、精度顶级、稳定性极强，有效支撑企业高端碳化硅半导体芯片国产化量产，助力企业突破新型半导体材料制程用水技术壁垒，树立行业高端水处理标杆。
