成都半导体功率器件超纯水总承包项目

成都某半导体企业专注于MOS管、IGBT、碳化硅功率器件研发与量产，功率器件芯片体积小、精度高、耐高压性能要求严苛，芯片清洗、刻蚀、掺杂等工序对超纯水的金属离子、微粒、有机物含量管控极其严格，微量杂质会直接导致器件漏电、击穿、性能失效。企业新建功率器件量产生产线，需配套全新高标准超纯水系统，设计产水规模10m³/h，日均产水240m³，出水电阻率≥18.2MΩ·cm，金属离子含量≤0.1ppb，微粒≤0.02μm，满足高端功率器件生产工艺标准。本次总承包服务包含项目整体设计、设备成套采购、安装调试、水质精密检测、运维培训、验收交付全流程，要求系统水质极致纯净、运行零波动、适配精密器件量产需求。

结合高端功率器件精密生产的极致用水需求，定制小型化、高精度、高稳定性超纯水总承包方案，打造全链条极致净化工艺。前端采用精细化多级预处理工艺，通过软化、多介质过滤、活性炭吸附、超滤、精密保安过滤，全方位去除原水中的硬度、悬浮物、有机物、胶体等杂质，杜绝大颗粒杂质进入核心系统。核心净化单元采用双级高压反渗透系统，精准脱除水中绝大部分盐类、金属离子，搭配高纯度EDI深度除盐设备，进一步提纯水体，降低微量离子含量。末端配置高端抛光混床精制系统，实现水质极致提纯，将电阻率稳定提升至18.2MΩ·cm，配套高精度微滤、紫外TOC降解、真空脱气装置，彻底去除水中微量微粒、有机物、溶解气体，满足功率器件极致纯净用水标准。系统采用小型化模块化集成设计，占地面积小、布局紧凑，适配新建生产线车间布局。搭载高精度全自动智能控制系统，实时监测各项精密水质指标，自动调节设备运行参数，实现水质零波动、设备无人值守运行，同时配备应急储水模块，保障生产线不间断用水。

项目投运后，超纯水各项精密指标全部达标，水质极致纯净、长期稳定无波动，完全满足高端碳化硅、IGBT功率器件生产的严苛工艺要求，彻底杜绝了因水质杂质导致的器件漏电、击穿、性能失效问题，大幅提升功率器件产品稳定性和可靠性，企业高端器件产品市场口碑显著提升。小型化模块化设计节省车间占地面积，设备布局规整、整洁，适配半导体洁净生产车间环境。全自动智能运行模式无需专人运维，设备故障率极低，运行稳定可靠，完全适配生产线24小时连续量产需求。系统净化精度高、耗材损耗低，长期运行成本低廉，节能降耗成效突出。整套系统工艺成熟、精度顶级、稳定性极强，完美适配精密半导体功率器件生产工况，为企业高端半导体器件研发、量产、品质升级提供了核心水资源支撑，助力企业抢占高端功率器件市场。